半導体検査装置の
スペシャリストへ

半導体検査装置の電子回路設計及び筐体の組み立てと評価を行っています。半導体検査装置の中でも私は電子銃と呼ばれる電子ビームを打ち出す装置の電源基板の設計を担当しています。回路設計では基本的に、高圧電源の電子回路を組んだり、定電流源回路と言われる低ノイズな電流を流す装置を制作しており、高圧電源だと５０キロボルトくらいのものを扱っています。評価は、電源の評価であれば安定度や、リップルという電圧の波形をミリレベル、マイクロレベルで評価します。高安定、低ノイズであるほど検査装置の高性能化につながるため、性能向上を目指しながら設計や評価を行っています。

電子銃の電源回路でリップル波形が少し大きいものがあるとお客様からご相談があり、この問題を解決するために新しい基板を起こしたことがありました。その際に、社内でまだ誰も使用していなかったICを使い回路設計を行いましたが、大規模な基板設計は初めての経験で、評価の仕方も慣れない部分があり、トライアンドエラーを繰り返しました。原因追及に２～３週間かかってしまい、この時期はかなり大変でしたが、最終的に想定以上の評価性能を得ることができ、とても嬉しかったです。回路設計をしている中で、うまくいかなかったものが成功したり、何か変化が見られた時にやりがいや面白さを感じます。

メリハリのある環境だと思います。基本的にはおおらかな方が多く、柔らかい雰囲気です。一方、仕事面では重要なことや技術面になると、年齢関係なく遠慮せずに言ってねと言ってくださり、意見を出し合うことが多いため、部内の交流は多いと感じます。人間関係が良いため、技術面で分からないことがあっても教えてくださりとても助かっています。今後の目標は半導体装置全体を見て、Ａ＆Ｄで設計している部品以外のところまで理解することで、お客様の要望の意図をさらに汲み取れるようになりたいと思っています。